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Sic Slurry 吉致電子碳化硅晶圓拋光液

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2023-04-11 11:07【

  吉致電子碳化硅精拋液,適用于Sic碳化硅晶圓襯底精密加工表面平坦化。wafer使用的Slurry具有高度拋光、低粗糙度的特點(diǎn),SiC碳化硅襯底拋光液拋光后的晶圓表面無(wú)劃傷、霧等缺陷,碳化硅晶片平坦度高。吉致電子研發(fā)的碳化硅拋光液稀釋比高、拋光后表面易清洗,被廣泛應用于半導體集成電路襯底的制造中。

碳化硅Sic拋光液

  吉致電子SiC Slurry wafer拋光液具有很好的流動(dòng)性和分散性,不易結晶、易清洗、拋光效率高等優(yōu)點(diǎn),可以滿(mǎn)足碳化硅晶片的精拋加工要求,也可根據客戶(hù)工藝調整做定制化硅晶圓(si wafer)化學(xué)機械拋光液。

碳化硅雙面精拋液 Sic slurry 半導體拋光液

吉致電子碳化硅拋光液.jpg

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