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碳化硅拋光墊/復(fù)合無紡布?jí)|Suba800國產(chǎn)替代
產(chǎn)品名稱:碳化硅拋光墊/復(fù)合無紡布拋光墊
產(chǎn)品厚度:1.2mm-3mm(可定制)
開槽規(guī)格:10×10--20×20(可定制)
產(chǎn)品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)
產(chǎn)品特點(diǎn):高平坦性、低缺陷性和高性價(jià)比
復(fù)合無紡布拋光墊·參數(shù)吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA
產(chǎn)品分類:吉致電子·拋光墊
產(chǎn)品名稱:無紡布拋光墊/碳化硅SIC拋光墊/suba800替代
產(chǎn)品厚度:1.2-3mm(可定制)
開槽規(guī)格:10×10--20×20(可定制)
產(chǎn)品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)
吉致電子拋光墊滿足低、中及高硬度材料拋光需求,針對(duì)碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號(hào)拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性價(jià)比等優(yōu)勢(shì)。
產(chǎn)品工藝及用途:特殊纖維結(jié)構(gòu)高耐磨的拋光材料,適用于碳化硅SIC/再生晶圓/各類三五族或二六族等晶圓,如藍(lán)寶石、砷化鎵、氮化鋁等拋光,也適用于各類襯底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。
碳化硅拋光墊·特點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn)槽深為拋光墊厚度1/2 可以按客戶不同開槽要求定制
吉致電碳化硅拋光墊的特點(diǎn)
結(jié)合硬質(zhì)和軟質(zhì)研磨拋光墊的優(yōu)點(diǎn),可兼顧工件的平坦度與均勻度
提供更快磨合的全局平坦性,提升碳化硅晶圓制程的穩(wěn)定性與尺寸精密度
特殊纖維材質(zhì),耐用、耐磨、耐酸堿,價(jià)比高
吉致電子SIC襯底CMP粗拋工藝效果:
SIC碳化硅粗拋工藝在實(shí)際應(yīng)用中使用吉致電子碳化硅拋光液(JZ-8010)與 JZ3020拋光墊拋磨后,碳化硅表面RA值=0.13nm
想了解更多碳化硅CMP拋光工藝參數(shù)與方案,歡迎來電咨詢
碳化硅拋光墊輔料參數(shù):
拋光墊背膠:
吉致電子每種拋光墊都可以根據(jù)客戶要求提供背膠需求(3M/國產(chǎn)),使用時(shí)粘結(jié)牢固,且使用后易于從盤面剝離。
背膠用途:
液晶玻璃基板的研磨布,研磨墊的固定。
晶圓,硬盤基板等研磨布的固定。
CMP墊的固定。
Rubbing Cloth固定等。
高彈緩沖墊及吸附墊:
可以根據(jù)客戶需求提供緩沖墊和吸附墊。緩沖墊是靈活應(yīng)用高分子工業(yè)技術(shù)所研發(fā)出的高發(fā)泡硅膠泡棉。由于它具有普通泡棉所不具有的耐熱性、耐寒性、低燃燒性等特點(diǎn),可適用于貼合拋光阻尼布加工制成不同厚度的拋光墊,從而使拋光效果更佳更容易保護(hù)拋光工件。
吉致電子碳化硅拋光墊價(jià)格實(shí)惠:
吉致電子拋光墊生產(chǎn)引進(jìn)國外技術(shù),可以媲美進(jìn)口拋光墊產(chǎn)品(Fujiba/SUBA/環(huán)球等國產(chǎn)替代)品質(zhì)穩(wěn)定。
選擇吉致電子拋光墊產(chǎn)品,價(jià)格美麗,比進(jìn)口拋光墊便宜,交貨期穩(wěn)定,性價(jià)比更高!
吉致電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)--15年經(jīng)驗(yàn)CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!
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