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吉致電子淺槽隔離拋光液怎么用

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-10-31 16:47【

  吉致電子淺槽隔離拋光液適用范圍:?jiǎn)尉Ч?、多晶硅的研磨拋光,存儲器制程和背照式傳感?BSI)制程等。

  STI Slurry 適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。具有高的銅去除速率,碟型凹陷可調,低缺陷等特性??蓱糜谶壿嬓酒约?D NAND和DRAM芯片等量產(chǎn)使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學(xué)物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。

  可定制選擇穩定的選擇比,去除速率,對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優(yōu)點(diǎn)。BSI拋光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和選擇比。

  吉致電子淺槽隔離拋光液涵蓋TSV銅/阻擋層Slurry,TSV晶背銅/介質(zhì)層拋Slurry、TSV晶背硅Slurry、TSV晶背硅/銅Slurry等。具有高去除速率、選擇比可調等優(yōu)點(diǎn)。以及集成電路制造工藝中淺槽隔離的拋光等等。

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