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[應用案例]Sic Slurry 吉致電子碳化硅晶圓拋光液[ 2023-04-11 11:07 ]
  吉致電子碳化硅精拋液,適用于Sic碳化硅晶圓襯底精密加工表面平坦化。wafer使用的Slurry具有高度拋光、低粗糙度的特點(diǎn),SiC碳化硅襯底拋光液拋光后的晶圓表面無(wú)劃傷、霧等缺陷,碳化硅晶片平坦度高。吉致電子研發(fā)的碳化硅拋光液稀釋比高、拋光后表面易清洗,被廣泛應用于半導體集成電路襯底的制造中。  吉致電子SiC Slurry wafer拋光液具有很好的流動(dòng)性和分散性,不易結晶、易清洗、拋光效率高等優(yōu)點(diǎn),可以滿(mǎn)足碳化硅晶片的精拋加工要求,也可根據客戶(hù)工藝調整做定制化硅晶圓(si wafer)
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[行業(yè)資訊]吉致電子--拋光液的主要成分和功能有哪些?[ 2022-07-22 16:52 ]
  拋光液的主要成分可分為以下幾類(lèi):氧化鋁拋光液、氧化鈰拋光液、金剛石研磨液(聚晶鉆石拋光液、單晶金剛石拋光液、納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液、碳化硅拋光液。  硅溶膠拋光液(氧化硅拋光液)是以高純硅粉為原料,通過(guò)特殊工藝(如水解法)生產(chǎn)的高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。廣泛應用于多種納米級材料的高平坦化拋光,如硅晶片、鍺晶片、砷化鎵、磷化銦等化合物半導體材料、精密光學(xué)器件、藍寶石襯底、藍寶石窗口等。  金剛石拋光液以金剛石微粉為主要成分,高分散配方,硬度高韌性好,有良好的高切削率,不易
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