您好,歡迎來(lái)到吉致電子科技有限公司官網(wǎng)!
收藏本站|在線(xiàn)留言|網(wǎng)站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠(chǎng)家
25年 專(zhuān)注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

訂購熱線(xiàn):17706168670
熱門(mén)搜索: 拋光液金剛石拋光液金剛石研磨液
吉致電子國內化學(xué)機械拋光耗材龍頭企業(yè)
聯(lián)系吉致
服務(wù)熱線(xiàn):
17706168670

電話(huà):0510-88794006

手機:17706168670

Email:jzdz@jzdz-wx.com

地址:江蘇省無(wú)錫市新吳區行創(chuàng )四路19-2

3D先進(jìn)封裝TSV CMP CU Slurry 銅化學(xué)機械拋光液

產(chǎn)品分類(lèi): 拋光液
    產(chǎn)品名稱(chēng):3D先進(jìn)封裝TSV CMP CU Slurry 銅化學(xué)機械拋光液
    磨料類(lèi)型:半導體cmp拋光液slurry
    磨料粒徑:專(zhuān)利化學(xué)配方/可定制
    訂購熱線(xiàn):17706168670

      TSV(硅通孔)Cu銅CMP拋光液·參數吉致電子,TSV CU Slurry 可定制·速率高·效果好·專(zhuān)利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA

      產(chǎn)品名稱(chēng):3D先進(jìn)封裝TSV CMP CU Slurry/TSV銅化學(xué)機械拋光液/半導體cmp拋光液slurry

      TSV硅通孔的作用: 提高集成度、降低功耗系統地集成數字電路、模擬電路。通過(guò)銅、鎢、多晶硅等導電物質(zhì)的填充實(shí)現硅通孔的垂直電氣互連,用于3D封裝TSV阻擋層化學(xué)機械拋光液。

      Front-side TSV Cu slurry----核心任務(wù):快速去除Cu  RRCu超快!

      Removal Rate:

      吉致電子JZ-1238與競品AXXX 相當,2.2psi時(shí)為競品的 99.2%;加入 H2O24hRR 仍很穩定,為原來(lái)的 96%。

      吉致電子JZ-1238 的表面粗度 Ra 與競品相當,批次測試結果的穩定性也較好!

      吉致電子TSV Cu Slurry RR選擇比:

      JZ-1238在1.0和.5psi時(shí)對于Cu和Tin,Ti,TEOS的RR與AXXX均相當,速率選擇比比AXXX稍高;對TaRR為

      1.0psi時(shí)AXXX的速率選擇比: Cu:TiN=7.83:1,Cu:Ti=85.13:1, Cu:TEOS=119.03:1

               JZ-1238的速率選擇比: Cu:TiN=8.22:1, Cu:Ti=140.90:1,Cu:TEOS=133.39:1

      0.5psi時(shí)AXXX的速率選擇比: Cu:TiN=5.54:1,Cu:Ti=68.51:1,Cu:TEOS=48.21:1

               JZ-1238的速率選擇比: Cu:TiN=6.01:1, Cu:Ti=98.81:1,Cu:TEOS=111.56:1


      吉致電子JEEZ用于3D封裝TSV化學(xué)機械拋光液

      可定制選擇穩定的選擇比,去除速率,對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優(yōu)點(diǎn)。Cu拋光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和選擇比。涵蓋TSV銅/阻擋層Slurry,TSV晶背銅/介質(zhì)層拋Slurry、TSV晶背硅Slurry、TSV晶背硅/銅Slurry等。具有高去除速率、選擇比可調等優(yōu)點(diǎn)。以及集成電路制造工藝中淺槽隔離的拋光等等。

      吉致電子研發(fā)團隊--15年經(jīng)驗CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!

      吉致電子 拋光液研發(fā)團隊

      無(wú)錫吉致電子科技有限公司聯(lián)系吉致

      聯(lián)系人:官經(jīng)理

      聯(lián)系電話(huà):17706168670

      銷(xiāo)售咨詢(xún):0510-88794006

      郵編:214000

      地址:江蘇省無(wú)錫市新吳區行創(chuàng )四路19-2



      * 表示必填采購:3D先進(jìn)封裝TSV CMP CU Slurry 銅化學(xué)機械拋光液
      * 聯(lián)系人: 請填寫(xiě)您的真實(shí)姓名
      公司名稱(chēng): 請填寫(xiě)您的公司名稱(chēng)
      聯(lián)系電話(huà):
      * 手機號碼: 請填寫(xiě)您的聯(lián)系電話(huà)
      電子郵件:
      聯(lián)系地址:
      * 采購意向描述:
      請填寫(xiě)采購的產(chǎn)品數量和產(chǎn)品描述,方便我們進(jìn)行統一備貨。
      驗證碼: 驗證碼
      我要評論:  
      內 容:
      (內容最多500個(gè)漢字,1000個(gè)字符)
      驗證碼: 看不清?!